如何判断高光复合机的质量，衡量高光复合机性能的因素有很多，不仅是机器的整体配置方面，更为重要的是机器的装配精度，这些主要体现在设备的轴间垂直度、平面度、定位精度、重复定位精度等参数。轴间垂直度主要影响工件的尺寸精度，XY轴垂直度较大时的典型表现是长方形的对角线不相等，Z轴和XY平面垂直度较大的典型表现是用平底刀大间距铣平面时，表面不平；平面度主要影响板材、工件的找平的难度。
一般机器装配调试完毕后要将高光复合机台面铣平，以保证平面度;定位精度影响工件的尺寸误差，主要决定于丝杠的精度、控制系统的补偿能力、环境温度的变化。当加工范围超过300毫米时，必须考虑定位精度对工件尺寸的影响;重复定位精度主要影响多刀加工、多工序加工等。高光复合机一般采用滚轴丝杠驱动，没有爬行现象，可以实现微进给。重复定位精度主要决定于控制精度。齿条传动的高光复合机要比丝杠传动的高光复合机精度低一些。
只有上面提到的各项指标都达到要求才能算是一台合格的高光复合机。这些精度是互相制约互相影响的，一项不达标就会影响机器的另一个精度。如果机器都不达标，那么加工出来的东西肯定更没有精度可谈。
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